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  • [行业技术] MPCVD长晶炉氦质谱检漏

    微波等离子体化学气相沉积法MicrowavePlasmaCVD(MPCVD)是目前国际上被用于高品质金刚石膜制备的首选方法。MPCVD装置是将微波发生器产生的微波经波导传输系统进入反应器，并通入甲烷与氢气的混合气体，在微波的激发
    发布时间：2024-04-25   点击次数：768

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